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溅射NiCrAl微晶涂层的氧化行为

高唯 , 刘振宇 , 王福会

腐蚀科学与防护技术

研究了氩气压力对溅射Ni-20Cr-2Al涂层晶粒尺寸及其抗氧化性能的影响.结果表明,随氩气压力的降低涂层的晶粒尺寸减小,当氩气压力降至0.67Pa时,涂层晶粒直径约为65nm,该涂层在1000℃空气中可以形成单一的氧化铝膜,从而大大提高合金的抗氧化性能.

关键词: 溅射 , NiCrAl , microcrystal

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